Anvendelse av krystallisering av RTP hurtigglødningsovn i anisotropikontroll av jerngranatfilmer

Jan 05, 2024

Legg igjen en beskjed

Rare earth iron granater (REIGs) er en slags mineral rik på sjeldne jordartselementer, på grunn av sine unike fysiske og kjemiske egenskaper, og viser stort brukspotensial innen spintronikk og magnetiske elektroner. Dens raske spinnbølgemekanikk, høye domenevegghastigheter og lave til moderate dempingsegenskaper gjør at den viser utmerket ytelse i mikrobølgeenheter og høyfrekvent kommunikasjon [1]. Samtidig har granat av sjeldne jordarter også gode magnetiske egenskaper, noe som gjør det til et ideelt valg for datalagring og magnetiske sensorer innen elektronikk, kommunikasjon, lasere og datalagring. Spenningsindusert anisotropimodulasjon på granatfilmer av sjeldne jordarter dyrket på piezoelektriske underlag har imidlertid ikke blitt demonstrert.

 

For tiden brukte Miela J. Gross[2] magnetronforstøvningsteknologi for å fremstille 5nm SiO2-belegg på Si (001) eller PMN-PT (011) substrater. Deretter ble de kjemiske DyIG- og YIG-målene vellykket deponert med pulsed laser deposition (PLD)-teknologi for å forberede 42nm tykke YDyIG-filmer. Rask varmebehandling (RTP) i 5 minutter ved 750 grader O2 atmosfære ble utført for å fremme krystalliseringen av filmen, og derved forbedre rekkefølgen og ytelsen til granatstrukturen.